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二氧化硅光波導(dǎo)入的以硅單晶為稱底，以不一樣夾雜的SiO2材聚合物波導(dǎo)以硅片為稱底，以不同摻雜濃度的Polymer材料為芯層，波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為掩埋矩形。泉州專用光纜一米多少錢,8芯光纜廠家
玻璃波導(dǎo)是通過在玻璃材料上擴(kuò)散Ag離子形成波導(dǎo)，波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為擴(kuò)散型。
2.平面光波導(dǎo)工藝以上六種常用的PLC光波導(dǎo)材料中，InP波導(dǎo)、二氧化硅波導(dǎo)、SOI波導(dǎo)和聚合物波導(dǎo)以刻蝕工藝制作，鈮酸鋰波導(dǎo)和玻璃波導(dǎo)以離子擴(kuò)散工藝制作，下面分別以二氧化硅波導(dǎo)和玻璃波導(dǎo)為例，介紹兩類波導(dǎo)工藝。
二氧化硅光波導(dǎo)的制作工藝如所示，整個(gè)工藝分為七步：1)采用火焰水解法（FHD）或者化學(xué)氣相淀積工藝（CVD），在硅片上生長(zhǎng)一層SiO2，其中摻雜磷、硼離子，作為波導(dǎo)下包層，如（b）所示；2)采用FHD或者CVD工藝，在下包層上再生長(zhǎng)一層SiO2，作為波導(dǎo)芯層，其中摻雜鍺離子，獲得需要的折射率差，如（c）所示；3)通過退火硬化工藝，使前面生長(zhǎng)的兩層SiO2變得致密均勻，如（d）所示。
